鉬晶圓化學(xué)成分穩(wěn)定，鉬含量可達(dá)99.9%，尺寸準(zhǔn)確，表面粗糙度低，Ra可達(dá)1.6泵以下;熔點(diǎn)高，導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性好，強(qiáng)度高，線膨脹系數(shù)與硅接近，加工性能好，是硅整流器成套設(shè)備、半導(dǎo)體硅器件、真空管陽極、儀器生產(chǎn)不可缺少的基板材料。

圓鉬圓片的生產(chǎn)方法主要有三種:(1)鉬棒線切割。鉬棒線切割生產(chǎn)方法幾何損耗小，成品率高，但線切割效率低。同時(shí)，圓表面邊緣和圓心的晶粒尺寸在圓后容易出現(xiàn)不均勻現(xiàn)象，尚處于實(shí)驗(yàn)研究階段。(2)鉬粉直壓燒結(jié)。鉬粉壓制燒結(jié)法產(chǎn)率比(1)高，但密度低，強(qiáng)度差，晶粒結(jié)構(gòu)排列紊亂，用戶在使用時(shí)發(fā)現(xiàn)它與硅片層壓時(shí)容易開裂或斷裂，仍需改進(jìn);(3)鉬板沖孔。